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| 測量范圍 | 0～50Kpa…1Mpa…200Mpa |
| 過載壓力 | 2倍滿量程壓力 |
| 壓力類型 | 表壓（可測量0～-100KPa負壓） |
| 測量介質 | 與硅兼容的氣體或液體 |
| 固有頻率 | ≥200KHz （量程≥1MPa） ≥50KHz （量程≥50Kpa） |
| 結構特點 | 齊平膜片結構 寬頻放大器 |
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